潔凈室與靜電

日期：2025-06-09 02:34

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摘要：

潔凈室與靜電

（1）潔凈室
半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需要潔凈的生產(chǎn)車間，通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小，潔凈度便越高。

（2）潔凈室的靜電
由于潔凈室的潔凈度要求，室內(nèi)使用
①大量的高絕緣介質(zhì)裝飾材料、地面、墻、門、頂棚、隔斷、工作臺、椅子等等，這些材料摩擦容易起電帶電，不易泄漏釋放。
光刻間塑料地面500V~1000V，擴(kuò)散間塑料地面500V~1500V，瓷磚地面也有500V~1500V，塑料墻紙700V，塑料頂棚OV~1000V，金屬活動皮芏椅面500V~3000V。
②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時，與不同物質(zhì)設(shè)備器材摩擦要產(chǎn)生靜電，人、衣服、鞋都會帶電。
人穿尼龍衣、著塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動，人身上帶7000V~8000V靜電壓。
在乙烯基地板上行走可帶1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH），在地毯上行走可帶35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH），晶片裝配線，人穿的工作服可達(dá)10KV。
③空調(diào)氣流經(jīng)過初效過濾器，中效過濾器，高效過濾器，凈化出口氣流是帶靜電的。
鋁板送風(fēng)口、回風(fēng)口500~1000V。
④大量的絕緣器材、裝備和工具，也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產(chǎn)線：晶片裝料盒35KV，有機(jī)玻璃蓋8KV，石英制品1.5KV，晶片托盤6KV，丙烯酸脂蓋20KV，臺桌面10KV，塑料存貯柜30KV，玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。
總之：潔凈室的潔凈度要求越高，靜電帶電便越嚴(yán)重。

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潔凈室與靜電